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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Xin Zhou [著]
- 著者標目
- Zhou, Xin ゾウ, シン
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2009]
- 出版年(W3CDTF)
- 2009
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- VHFプラズマプロセスによるナノ結晶シリコン集合体のキャリア輸送に関する研究 VHF プラズマ プロセス ニ ヨル ナノ ケッショウ シリコン シュウゴウタイ ノ キャリア ユソウ ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 東京工業大学