博士論文

レーザを用いた小径穴および微細形状測定装置の開発に関する研究

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レーザを用いた小径穴および微細形状測定装置の開発に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2011-P138
国立国会図書館書誌ID
023430453
資料種別
博士論文
著者
佐島隆生 [著]
出版者
[佐島隆生]
出版年
[2011]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
九州大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
レーザ オ モチイタ ショウケイ アナ オヨビ ビサイ ケイジョウ ソクテイ ソウチ ノ カイハツ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
佐島隆生 [著]
著者標目
佐島, 隆生 サジマ, タカオ
出版事項
出版年月日等
[2011]
出版年(W3CDTF)
2011
数量
1冊
授与機関名
九州大学