Surface and interface analyses with scanning probe microscopy for photomask fabrication and nanoimprint lithography processes

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Surface and interface analyses with scanning probe microscopy for photomask fabrication and nanoimprint lithography processes
• 著者・編者: Masaaki Kurihara [著]
• 著者標目: 栗原, 正彰 クリハラ, マサアキ
• 出版事項: [Masaaki Kurihara]
• 出版年月日等: [2010]
• 出版年（W3CDTF）: 2010
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: フォトマスク製造及びナノインプリントリソグラフィープロセスのための走査型プローブ顕微鏡を用いた表面及び界面解析 フォトマスク セイゾウ オヨビ ナノインプリント リソグラフィー プロセス ノ タメ ノ ソウサガタ プローブ ケンビキョウ オ モチイタ ヒョウメン オヨビ カイメン カイセキ
• 授与機関名: 東京工業大学
• 授与年月日: 平成22年9月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2010
• 報告番号: 甲第8187号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2011-Q699
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 023532956; http://id.ndl.go.jp/bib/023532956
• 整理区分コード: 213