Micromachining and microfabrication process technology 17 : 24 and 26 January 2012 : San Francisco, California, United States : Jan 2012, San Francisco, CA.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9780819488916
• ISSN（シリーズ）: 0277786X
• タイトル: Micromachining and microfabrication process technology 17 : 24 and 26 January 2012 : San Francisco, California, United States : Jan 2012, San Francisco, CA.
• シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 8248
• タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 8248. 0277-786X
• 著者標目: Perez-Maher, Mary Ann.; Resnick, Paul J.
• 出版事項: Bellingham : SPIE
• 出版年月日等: c2012.
• 出版年（W3CDTF）: 2012
• 数量: 1 v. (various pagings)
• 形態の詳細: ill.
• 大きさ: 28 cm.
• その他のタイトル: SPIE photonics west.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Micromachining--Congresses.; Microfabrication--Congresses.; Electromechanical devices--Design and construction--Congresses.; Miniature electronic equipment--Design and construction--Congresses.
• LCC: TJ1191.5; QC371
• NDLC: M17
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: Papers.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-12-3309
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 023617283; http://id.ndl.go.jp/bib/023617283
• LC control number: 2012405998; https://lccn.loc.gov/2012405998
• OCLC番号: 799028238; https://www.worldcat.org/oclc/799028238
• 目録規則: 英米目録規則
• 整理区分コード: 215