Design for manufacturability through design-process integration 6 : 15-16 February 2012 : San Jose, California, United States : 2012 SPIE conference on design for manufacturability through design-process integration (DfM-DPI) : Feb 2012, San Jose, CA.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9780819489838
• ISSN（シリーズ）: 0277786X
• タイトル: Design for manufacturability through design-process integration 6 : 15-16 February 2012 : San Jose, California, United States : 2012 SPIE conference on design for manufacturability through design-process integration (DfM-DPI) : Feb 2012, San Jose, CA.
• シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 8327
• タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 8327. 0277-786X
• 著者標目: Mason, Mark E., 1968-; Sturtevant, John L.
• 出版事項: Bellingham : SPIE
• 出版年月日等: c2012.
• 出版年（W3CDTF）: 2012
• 数量: 1 v. (various pagings)
• 形態の詳細: ill.
• 大きさ: 28 cm.
• その他のタイトル: SPIE advanced lithography.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Integrated circuits--Design and construction--Congresses.; Integrated circuits--Defects--Analysis--Congresses.; Semiconductors--Design and construction--Congresses.; Semiconductor wafers--Defects--Analysis--Congresses.; Microelectronics industry--Quality control--Congresses.; Quality control--Congresses.
• LCC: TK7874; QC371
• NDLC: M17
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: Papers.; "This marks the sixth year of the DfM-DPI conference, (...)" -- introd.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-12-4061
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 023762540; http://id.ndl.go.jp/bib/023762540
• LC control number: 2012471865; https://lccn.loc.gov/2012471865
• OCLC番号: 806230589; https://www.worldcat.org/oclc/806230589
• 目録規則: 英米目録規則
• 整理区分コード: 215