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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Takashi Sasaki [著]
- 著者標目
- 佐々木, 敬 ササキ, タカシ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2012]
- 出版年(W3CDTF)
- 2012
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- マイクロマシニングによる焦点可変走査ミラーに関する研究 マイクロマシニング ニ ヨル ショウテン カヘン ソウサ ミラー ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 東北大学
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