実用薄膜プロセス : 機能創製・応用展開

• 資料種別: 図書
• ISBN: 978-4-907837-18-1
• タイトル: 実用薄膜プロセス : 機能創製・応用展開
• タイトルよみ: ジツヨウ ハクマク プロセス : キノウ ソウセイ ・ オウヨウ テンカイ
• 著者・編者: 齋藤文良, 多賀康訓 編
• 著者標目: 齋藤, 文良, 1947- サイトウ, フミオ, 1947- ( 00893519 )典拠; 多賀, 康訓 タガ, ヤスノリ ( 00417377 )典拠
• 出版事項: 東京 : 技術教育出版; 東京 : エヌ・ティー・エス (発売)
• 出版年月日等: 2009.8
• 出版年（W3CDTF）: 2009
• 数量: 416p
• 大きさ: 27cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 薄膜 ハクマク ( 00562857 )典拠
• NDC9版: 549.8 : 電子工学
• NDLC: ND371
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: 文献あり
• 入手条件・定価: 47400円
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-L10
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 024267271; http://id.ndl.go.jp/bib/024267271
• 全国書誌番号: 22230619
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

目次

目次

第1編 創製技術

第1章 機能薄膜プロセス技術

1. 薄膜の歴史/ 3

1-1. 薄膜効果/ 4