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図書

EUV光源の開発と応用 普及版 (エレクトロニクスシリーズ)

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EUV光源の開発と応用 = Development and Application of Extreme Ultraviolet Light Source

普及版

(エレクトロニクスシリーズ)

国立国会図書館請求記号
ND386-L12
国立国会図書館書誌ID
024287080
資料種別
図書
著者
豊田浩一, 岡崎信次 監修
出版者
シーエムシー出版
出版年
2013.3
資料形態
ページ数・大きさ等
273p ; 26cm
NDC
549.7
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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
978-4-7813-0709-1
タイトルよみ
イーユーヴイ コウゲン ノ カイハツ ト オウヨウ
著者・編者
豊田浩一, 岡崎信次 監修
普及版
シリーズタイトル
著者標目
豊田, 浩一, 1937- トヨダ, コウイチ, 1937- ( 00085781 )典拠
岡崎, 信次 オカザキ, シンジ ( 00943837 )典拠
出版年月日等
2013.3