Heterogeneous integration challenges of MEMS, sensor and CMOS LSI : April 9-13, 2012 : San Francisco, California, USA : Apr 2012, San Francisco, CA.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9781627482363 (paperback)
• タイトル: Heterogeneous integration challenges of MEMS, sensor and CMOS LSI : April 9-13, 2012 : San Francisco, California, USA : Apr 2012, San Francisco, CA.
• シリーズタイトル: Materials Research Society Symposia Proceedings ; 1427
• 著者標目: Heterogeneous Integration Challenges of MEMS, Sensor and CMOS LSI (Symposium) (2012 : San Francisco, Calif.); Masu, K. (Kazuya); Sawada, K. (Kazuaki); Toshiyoshi, H. (Hiroshi); Charlot, B. (Benoit); Pisano, A. (Al); Materials Research Society. Spring Meeting (2012 : San Francisco, Calif.)
• 出版事項: Cambridge : Cambridge University Press; Warrendale : Materials Research Society
• 出版年月日等: c2012.
• 出版年（W3CDTF）: 2012
• 数量: 105 p.
• 形態の詳細: ill.
• 大きさ: 24 cm.
• その他のタイトル: 2012 MRS spring meeting.
• 出版地（国名コード）: GB
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Metal oxide semiconductors--Congresses.; Microelectromechanical systems--Congresses.; Materials--Research--Congresses.; MEMS; CMOS; LSI
• LCC: TK7871.99.M44
• DDC: 621.38152
• NDLC: M17
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: Papers.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-13-3095
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 024585378; http://id.ndl.go.jp/bib/024585378
• OCLC番号: 850171951; https://www.worldcat.org/oclc/850171951
• 目録規則: 英米目録規則
• 整理区分コード: 215