Metrology, inspection, and process control for microlithography 27 : 25-28 February 2013 : San Jose, California, United States : 27th conference on metrology, inspection, and process control for microlithography : advanced lithography symposium : Feb 2013, San Jose, CA.

• 資料種別: 図書
• ISBN（セット）: 9780819494634 (set)
• ISSN（シリーズ）: 0277786X
• タイトル: Metrology, inspection, and process control for microlithography 27 : 25-28 February 2013 : San Jose, California, United States : 27th conference on metrology, inspection, and process control for microlithography : advanced lithography symposium : Feb 2013, San Jose, CA.
• シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 8681
• タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 8681. 0277-786X
• 著者標目: Starikov, Alexander, 1952-; Cain, Jason P.
• 出版事項: Bellingham : SPIE
• 出版年月日等: c2013.
• 出版年（W3CDTF）: 2013
• 数量: 2 parts
• 形態の詳細: ill. (some col.)
• 大きさ: 28 cm.
• その他のタイトル: SPIE advanced lithography.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• ジャンル・形式用語: Electronic books.
• 件名標目: Integrated circuits--Inspection--Congresses.; Integrated circuits--Measurement--Congresses.; Microlithography--Congresses.; Process control--Congresses.
• LCC: TK7874
• NDLC: M17
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: Papers.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
• 一次資料へのリンクURL: SPIE Digital Library; http://link.spie.org/PSISDG/8681/1
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-13-3592
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 024646121; http://id.ndl.go.jp/bib/024646121
• OCLC番号: 847841296; https://www.worldcat.org/oclc/847841296
• 目録規則: 英米目録規則
• 整理区分コード: 215