博士論文

シリコン結晶への界面ナノ構造を利用した不純物ドーピング法

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シリコン結晶への界面ナノ構造を利用した不純物ドーピング法

国立国会図書館請求記号
UT51-2013-L144
国立国会図書館書誌ID
025035066
資料種別
博士論文
著者
村田晃一 [著]
出版者
[村田晃一]
出版年
[2013]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
筑波大学,博士(工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
シリコン ケッショウ エ ノ カイメン ナノ コウゾウ オ リヨウシタ フジュンブツ ドーピングホウ
著者・編者
村田晃一 [著]
著者標目
村田, 晃一 ムラタ, コウイチ
出版事項
出版年月日等
[2013]
出版年(W3CDTF)
2013
数量
1冊
授与機関名
筑波大学