微小材料解析のためのshave-off深さ方向分析法の高精度化に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 微小材料解析のためのshave-off深さ方向分析法の高精度化に関する研究
• タイトルよみ: ビショウ ザイリョウ カイセキ ノ タメ ノ shave - off フカサ ホウコウ ブンセキホウ ノ コウセイドカ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 藤井麻樹子 [著]
• 著者標目: 藤井, 麻樹子 フジイ, マキコ
• 出版事項: [藤井麻樹子]
• 出版年月日等: [2012]
• 出版年（W3CDTF）: 2012
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 東京大学
• 授与年月日: 平成24年9月27日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2012
• 報告番号: 甲第28689号
• 学位: 博士(工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2013-M104
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 025093794; http://id.ndl.go.jp/bib/025093794
• 整理区分コード: 213