Control of ultra-thin amorphous high-k/Ge interface for Ge-CMOS devices

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Control of ultra-thin amorphous high-k/Ge interface for Ge-CMOS devices
• 著者・編者: Toshiyuki Tabata [著]
• 著者標目: 田畑, 俊行 タバタ, トシユキ
• 出版事項: [Toshiyuki Tabata]
• 出版年月日等: [2013]
• 出版年（W3CDTF）: 2013
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: Ge-CMOSデバイスのための極薄アモルファスHigh-k/Ge界面の制御の研究 Ge-CMOS デバイス ノ タメ ノ ゴクウス アモルファス High-k
• 授与機関名: 東京大学
• 授与年月日: 平成25年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2013
• 報告番号: 甲第29119号
• 学位: 博士(工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2013-M533
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 025102048; http://id.ndl.go.jp/bib/025102048
• 整理区分コード: 213