Evolutions in planarization: equipment, materials, techniques and applications : April 1-5, 2013 : San Francisco, California, USA : Apr 2013, San Francisco, CA.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9781632661425 (paperback); 163266142X (paperback)
• タイトル: Evolutions in planarization: equipment, materials, techniques and applications : April 1-5, 2013 : San Francisco, California, USA : Apr 2013, San Francisco, CA.
• シリーズタイトル: Materials Research Society Symposia Proceedings ; 1560
• 著者標目: Borst, Christopher L. (Christopher Lyle)
• 出版事項: Cambridge, United Kingdom : Cambridge University Press (出版); Warrendale, PA : Materials Research Society (出版)
• 出版年月日等: [2013]
• 出版年（W3CDTF）: 2013
• 数量: 94 pages
• 形態の詳細: illustrations (black and white)
• 大きさ: 24 cm.
• 並列タイトル等: 2013 MRS spring meeting
• 出版地（国名コード）: GB
• 本文の言語コード: eng
• ジャンル・形式用語: Conference proceedings.
• 表現種別: text
• 機器種別: unmediated
• キャリア種別: volume
• 件名標目: Chemical mechanical planarization--Congresses.; Materials science--Congresses.; Chemical mechanical planarization.; Materials science.; Planarization
• DDC: 671.35
• NDLC: M17
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: Papers.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
• 別の媒体に関する注記: Also issued online.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-14-2569
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 025414492; http://id.ndl.go.jp/bib/025414492
• OCLC番号: 879386347; https://www.worldcat.org/oclc/879386347
• 目録規則: RDA
• 整理区分コード: 215