Substrate surface preparation handbook Max Robertson.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9781608072132; 1608072134
• タイトル: Substrate surface preparation handbook
• 著者標目: Robertson, Max, 1942-
• 出版事項: Boston : Artech House
• 出版年月日等: [2011]
• 出版年（W3CDTF）: 2012
• 数量: 195 pages
• 形態の詳細: illustrations
• 大きさ: 24 cm
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 表現種別: text
• 機器種別: unmediated
• キャリア種別: volume
• 件名標目: Semiconductors--Surfaces.; Epitaxy.
• LCC: QC611.S9
• NDLC: MC151
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: Includes bibliographical references and index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: MC151-B49
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 025489880; http://id.ndl.go.jp/bib/025489880
• LC control number: 2011276683; https://lccn.loc.gov/2011276683
• OCLC番号: 768130712; https://www.worldcat.org/oclc/768130712
• 目録規則: RDA
• 整理区分コード: 211

• 内容細目: IntroductionPreparation : before the startLapping...