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小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法 : μmからnm寸法のものをつくるための材料,物性,形状,機能の評価法

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小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法 = Materials Evaluation Methods for Micro/nano Structures and Devices : μmからnm寸法のものをつくるための材料,物性,形状,機能の評価法

国立国会図書館請求記号
NB21-L40
国立国会図書館書誌ID
026447343
資料種別
図書
著者
肥後矢吉 編著ほか
出版者
コロナ社
出版年
2015.7
資料形態
ページ数・大きさ等
196p ; 21cm
NDC
530
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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
978-4-339-04643-4
タイトルよみ
チイサナ モノ オ ツクル タメ ノ ナノ サブミクロン ヒョウカホウ
著者・編者
肥後矢吉 編著
谷川紘, 鈴木健一郎, 磯野吉正, 荻博次, 土屋智由, 石山千恵美 共著
著者標目
肥後, 矢吉 ヒゴ, ヤキチ ( 001209345 )典拠
谷川, 紘 タニガワ, ヒロシ ( 001209347 )典拠
鈴木, 健一郎, 応用物理学 スズキ, ケンイチロウ, オウヨウ ブツリガク ( 01214992 )典拠
磯野, 吉正 イソノ, ヨシタダ ( 001209357 )典拠
出版年月日等
2015.7
出版年(W3CDTF)
2015
数量
196p