2015 international conference on planarization/CMP technology : (ICPT 2015) : Chandler, Arizona, USA : 30 September-2 October : annual CAMP conference : Sep 2015, Chandler, AZ.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9781467386647 (print-on-demand)
• タイトル: 2015 international conference on planarization/CMP technology : (ICPT 2015) : Chandler, Arizona, USA : 30 September-2 October : annual CAMP conference : Sep 2015, Chandler, AZ.
• 著者標目: International Conference on Planarization/CMP Technology (2015 : Chandler, Ariz.)
• 出版事項: Piscataway, NJ : IEEE
• 出版年月日等: [2015]
• 出版年（W3CDTF）: 2015
• 数量: 259 pages
• 形態の詳細: illustrations
• 大きさ: 28 cm
• 並列タイトル等: 2015 international conference on planarization/CMP technology : (ICPT 2015) : Chandler, Arizona, USA : 30 September-2 October 2015
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• ジャンル・形式用語: Conference papers and proceedings.
• 表現種別: text
• 機器種別: unmediated
• キャリア種別: volume
• 件名標目: Chemical mechanical planarization--Congresses.; Chemical mechanical planarization.
• LCC: TK7874.84
• NDLC: M17
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: Papers.; Described as "On behalf of the ICPT 2015 Planning Committee, ... to make this conference an ongoing success. Welcome to Phoenix!"--Next page of contents.; IEEE catalog number CFP1563Z-POD.
• 資料の内容に関する注記: Annotation
• 書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-17-1534
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 027671076; http://id.ndl.go.jp/bib/027671076
• 目録規則: RDA
• 整理区分コード: 215