博士論文

半導体製造装置の振動応答解析による地震被害リスク予測に関する研究

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半導体製造装置の振動応答解析による地震被害リスク予測に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2016-B59
国立国会図書館書誌ID
027808578
資料種別
博士論文
著者
薦田香織 [著]
出版者
[薦田香織]
出版年
[2015]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東北大学,博士(工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ シンドウ オウトウ カイセキ ニ ヨル ジシン ヒガイ リスク ヨソク ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
薦田香織 [著]
著者標目
薦田, 香織 コモダ, カオリ
出版事項
出版年月日等
[2015]
出版年(W3CDTF)
2015
数量
1冊
並列タイトル等
Study on seismic risk prediction by vibration response analyses of semiconductor manufacturing equipment