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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Yosuke Tamura [著]
- 著者標目
- 田村, 洋典 タムラ, ヨウスケ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2016]
- 出版年(W3CDTF)
- 2016
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- トップダウン及びボトムアッププロセスを用いて製作した化合物半導体ナノ構造 トップダウン オヨビ ボトムアップ プロセス オ モチイテ セイサク シタ カゴウブツ ハンドウタイ ナノ コウゾウ
- 授与機関名
- 東北大学