博士論文

高温真空レーザー顕微鏡によるSiC薄膜溶液成長界面に関する研究

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高温真空レーザー顕微鏡によるSiC薄膜溶液成長界面に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2016-B273
国立国会図書館書誌ID
027817431
資料種別
博士論文
著者
小沼碧海 [著]
出版者
[小沼碧海]
出版年
[2016]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東北大学,博士(工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
コウオン シンクウ レーザー ケンビキョウ ニ ヨル SiC ハクマク ヨウエキ セイチョウ カイメン ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
小沼碧海 [著]
著者標目
小沼, 碧海 オヌマ, アオミ
出版事項
出版年月日等
[2016]
出版年(W3CDTF)
2016
数量
1冊
並列タイトル等
Study on the growth of SiC films at the interface with Si-based alloy flux by high-temperature and high-vacuum laser microscope