2016 27th annual SEMI advanced semiconductor manufacturing conference : (ASMC 2016) : Saratoga Springs, New York, USA : 16-19 May 2016 : May 2016, Saratoga Springs, NY.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9781509002719 (print)
• ISSN: 1078-8743
• タイトル: 2016 27th annual SEMI advanced semiconductor manufacturing conference : (ASMC 2016) : Saratoga Springs, New York, USA : 16-19 May 2016 : May 2016, Saratoga Springs, NY.
• 著者標目: Annual IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (27th : 2016 : Saratoga Springs, N.Y.)
• 出版事項: Piscataway, NJ : IEEE (出版)
• 出版年月日等: [2016]
• 出版年（W3CDTF）: 2016
• 数量: 474 pages
• 形態の詳細: illustrations
• 大きさ: 28 cm
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• ジャンル・形式用語: Conference papers and proceedings.
• 表現種別: text
• 機器種別: unmediated
• キャリア種別: volume
• 件名標目: Semiconductors--Design and construction--Congresses.; Semiconductor industry--Production control--Congresses.; Semiconductor industry--Management--Congresses.; Process control--Congresses.; Process control.; Semiconductor industry--Management.; Semiconductor industry--Production control.; Semiconductors--Design and construction.
• LCC: TK7871.85
• NDLC: M17
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: Papers.; IEEE catalog number CFP16ASC-POD.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-17-2266
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 028009628; http://id.ndl.go.jp/bib/028009628
• 目録規則: RDA
• 整理区分コード: 215