Realisierung eines hochauflösenden EUV-Mikroskops mit einer optimierten Gasentladungsquelle zum Betrieb mit Wellenlängen um 17 nm zur Mikroskopie an M-Kanten von Elementen

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Realisierung eines hochauflösenden EUV-Mikroskops mit einer optimierten Gasentladungsquelle zum Betrieb mit Wellenlängen um 17 nm zur Mikroskopie an M-Kanten von Elementen
• 著者・編者: vorgelegt von Ralf Freiberger.
• 著者標目: Freiberger, Ralf.
• 出版事項: [Aachen] : Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
• 出版年月日等: [2017]
• 出版年（W3CDTF）: 2017
• 数量: 193 leaves
• 大きさ: 30 cm.
• 授与機関名: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
• 授与年月日（W3CDTF）: 2017
• 学位: Ph.D
• 学位論文注記: Thesis (doctoral)--Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 2017.
• 出版地（国名コード）: DE
• 本文の言語コード: ger
• 表現種別: text
• 機器種別: unmediated
• キャリア種別: volume
• DDC: 530
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: Includes bibliographies.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M-DIGA-12568
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 028845250; http://id.ndl.go.jp/bib/028845250
• 目録規則: RDA
• 整理区分コード: 216