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1 X線反射率の基礎 1.1 光とX線 1.2 X線反射率法の特徴 1.3 膜密度はどのように決まるか 1.4 膜厚はどのように決まるか 1.5 膜の表面・界面粗さはどのように決まるか 1.6 いろいろな反射率計算法 1.7 結晶からの反射率 1.8 共鳴磁気反射率 1.9 コヒーレンスとコヒーレント回折 1.10 実際の測定とデータ解析の基礎 2 X線反射率の測定装置と測定方法 2.1 X線反射率測定装置に必要な条件 2.2 X線反射率測定装置の実際 2.3 反射率の測定方法 2.4 散漫散乱測定 2.5 平行X線ビームと2次元検出器の組み合わせによる測定 3 X線反射率のデータ解析法 3.1 はじめに 3.2 X線反射率のデータ解析の前に 3.3 最小二乗法フィッティングによる膜構造解析の手順 3.4 単層膜の解析と精度の評価 3.5 多層膜の解析と精度の評価 3.6 多波長X線反射率法 3.7 2波長法による多層膜構造解析 3.8 3波長法による多層膜構造解析 3.9 反射率解析の今後 3.10 まとめ 4 X線反射率のデータ解析の注意事項 4.1 はじめに 4.2 理論反射率の与えるプロファイルの一意性について 4.3 個々のパラメータのX線反射率プロファイルへの寄与の仕方 4.4 最小二乗フィッティング計算に由来する問題 4.5 構造モデルに過度に依存しない解析の試み 4.6 おわりに 5 微小領域分析およびイメージングへの展開 5.1 顕微鏡・イメージング手法とX線反射の融合 5.2 放射光ナノビームによる微小領域分析 5.3 高エネルギー白色X線による微小領域分析 5.4 画像再構成法によるイメージング 5.5 微小領域分析・イメージングの今後 6 時々刻々変化する系の追跡への展開 6.1 はじめに 6.2 多チャンネルX線反射率法（Naudonの方法） 6.3 白色X線反射スペクトル法 6.4 従来の角度走査型の装置によるその場計測 6.5 時々刻々変化する系を追跡するX線反射率計測の近未来 7 X線反射率法の応用 7.1 半導体薄膜 7.2 ハードディスク 7.3 X線光学用多層膜 7.4 電気化学界面などの固液界面 7.5 有機・高分子薄膜 7.6 液体の表面，界面，単分子膜 8 X線反射率法と併用すると有意義な関連技術 8.1 微小角入射蛍光X線分析法 8.2 微小角入射X線回折法 8.3 共鳴軟X線スペクトル法 8.4 GISAXS法 8.5 X線光子相関分光法 9 中性子の利用 9.1 はじめに 9.2 中性子反射光学の基礎 9.3 中性子反射率法の特徴 9.4 中性子反射率法の適用例 9.5 X線反射率法経験者の目から見た中性子の利用 おわりに X線反射率の100年 付録1 C++によるX線・中性子反射率計算プログラム 付録2 Pythonによる反射率計算プログラム
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- 549.8-ｴﾂ
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紙- 請求記号：
- 5498/ 153/
- 図書登録番号：
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紙- 請求記号：
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- 図書登録番号：
- 7110622780
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紙- 請求記号：
- 549.8-309-2018
- 図書登録番号：
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