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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合 普及版 (新材料・新素材シリーズ)

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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 = Integration Technology for Heterogeneous Advanced Devices:Basics and Applications : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合

普及版

(新材料・新素材シリーズ)

国立国会図書館請求記号
ND386-M15
国立国会図書館書誌ID
029598369
資料種別
図書
著者
益一哉, 年吉洋, 町田克之 監修
出版者
シーエムシー出版
出版年
2019.4
資料形態
ページ数・大きさ等
279p ; 26cm
NDC
549.7
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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
978-4-7813-1364-1
タイトルよみ
イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ
著者・編者
益一哉, 年吉洋, 町田克之 監修
普及版
シリーズタイトル
著者標目
益, 一哉, 1954- マス, カズヤ, 1954- ( 001124168 )典拠
年吉, 洋 トシヨシ, ヒロシ ( 001124169 )典拠
町田, 克之 マチダ, カツユキ ( 001124170 )典拠
出版年月日等
2019.4