International conference on micro- and nano-electronics 2018 : 1-5 October 2018 : Zvenigorod, Russian Federation : ICMNE-2018 : ICMNE : Oct 2018, Zvenigorod, Russia.
(SPIE Proceedings ; 11022)
国立国会図書館請求記号
M17-20-649
国立国会図書館書誌ID
029724846
資料種別
図書
著者
Russian Academy of Sciences. Institute of Physics and Technology.ほか