Capacitive silicon resonators : performance enhancement methods

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9780367217761 (hardback : acidfree paper); 0367217767 (hardback : acidfree paper)
• ISBN（エラーコード）: 9780429266010 (ebook)
• タイトル: Capacitive silicon resonators : performance enhancement methods
• 著者・編者: authored by Nguyen Van Toan and Takahito Ono.
• 著者標目: Toan, Nguyen Van.; 小野, 崇人, 1967- オノ, タカヒト, 1967- ( 001238556 )典拠
• 出版事項: Boca Raton : CRC Press/Taylor & Francis Group (出版)
• 出版年月日等: [2020]
• 出版年（W3CDTF）: 2020
• 数量: xiii, 161 pages
• 大きさ: 24 cm
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 表現種別: text
• 機器種別: unmediated
• キャリア種別: volume
• 件名標目: Dielectric resonators.; Electric resonators.; Nanoelectromechanical systems.; Semiconductors.
• LCC: TK7872.D53
• DDC: 621.3815
• NDLC: ND371
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: Includes bibliographical references and index.
• コレクション（個別）: 日本関係外国語図書
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-D4
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 029729213; http://id.ndl.go.jp/bib/029729213
• LC control number: 2019010375; https://lccn.loc.gov/2019010375
• OCLC番号: 1089225968; https://www.worldcat.org/oclc/1089225968
• 目録規則: RDA
• 整理区分コード: 211

• 要約等: "Microfabricated resonators play an essential role in a variety of applications, including mass sensing, timing reference applications, and filtering ...