Development of nitride thin film and micro devices for piezoelectric vibration energy harvesters

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Development of nitride thin film and micro devices for piezoelectric vibration energy harvesters
• 著者・編者: Nguyen Hoang Hung [著]
• 著者標目: Nguyen, Hoang Hung グエン, ホン フン
• 出版事項: [Nguyen Hoang Hung]
• 出版年月日等: [2018]
• 出版年（W3CDTF）: 2018
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 圧電型振動エナジーハーベスタに用いる窒化物薄膜およびマイクロデバイスの開発 アツデンガタ シンドウ エナジー ハーベスタ ニ モチイル チッカブツ ハクマク オヨビ マイクロ デバイス ノ カイハツ
• 授与機関名: 東北大学
• 授与年月日: 平成30年3月27日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2018
• 報告番号: 甲第18059号
• 学位: 博士(工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2018-B381
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 029801505; http://id.ndl.go.jp/bib/029801505
• 整理区分コード: 213