16th international symposium on semiconductor cleaning science and technology (SCST 16). (ECS Transactions ; 92 (no. 2))

16th international symposium on semiconductor cleaning science and technology (SCST 16).

(ECS Transactions ; 92 (no. 2))

資料に関する注記

一般注記：: Papers."Since then, the 'ECS Cleaning Symposium' has been held every other year in: ..."--Preface.

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

資料種別: 図書
ISBN: 9781510895881
ISSN（シリーズ）: 1938-5862
タイトル: 16th international symposium on semiconductor cleaning science and technology (SCST 16).
シリーズタイトル: ECS Transactions ; 92 (no. 2)
出版事項: Pennington, NJ, USA : The Electrochemical Society (出版)
出版年月日等: [2019]
出版年（W3CDTF）: 2019
数量: viii, 274 pages
大きさ: 24 cm.
並列タイトル等: Electronic materials and processing
その他のタイトル: 236th meeting of the Electrochemical Society : ECS cleaning symposium : Oct 2019, Atlanta, GA.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
表現種別: text
機器種別: unmediated
キャリア種別: volume
NDLC: M17
対象利用者: 一般
一般注記: Papers.
"Since then, the 'ECS Cleaning Symposium' has been held every other year in: ..."--Preface.
書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-20-1132
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 030181427
http://id.ndl.go.jp/bib/030181427
目録規則: RDA
整理区分コード: 215