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ノボラックレジスト : 材料とプロセスの最適化

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ノボラックレジスト : 材料とプロセスの最適化

国立国会図書館請求記号
PA441-M40
国立国会図書館書誌ID
030217075
資料種別
図書
著者
-
出版者
S&T出版
出版年
2020.1
資料形態
ページ数・大きさ等
197p ; 30cm
NDC
578.4
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目次

  • -目次-

  • 第1章 はじめに/ 3

    堀邉 英夫

  • 第2章 g線ノボラックレジストの概要

    田中 初幸

  • 1. はじめに/ 7

  • 2. フォトレジスト/ 7

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関東

書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
978-4-907002-79-4
タイトルよみ
ノボラック レジスト : ザイリョウ ト プロセス ノ サイテキカ
出版事項
出版年月日等
2020.1
出版年(W3CDTF)
2020
数量
197p
大きさ
30cm
出版地(国名コード)
JP