博士論文

Material characterization of piezoelectric film and frequency-modulated sensing using acoustic wave devices

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Material characterization of piezoelectric film and frequency-modulated sensing using acoustic wave devices

国立国会図書館請求記号
UT51-2019-A859
国立国会図書館書誌ID
030516089
資料種別
博士論文
著者
Ryosuke Kaneko [著]
出版者
[Ryosuke Kaneko]
出版年
[2019]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東北大学,博士(工学)
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書誌情報

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資料種別
博士論文
著者・編者
Ryosuke Kaneko [著]
著者標目
金子, 亮介 カネコ, リョウスケ
出版事項
出版年月日等
[2019]
出版年(W3CDTF)
2019
数量
1冊
並列タイトル等
弾性波デバイスを用いた圧電薄膜の材料定数の評価と周波数変調センシング ダンセイハ デバイス オ モチイタ アツデン ハクマク ノ ザイリョウ テイスウ ノ ヒョウカ ト シュウハスウ ヘンチョウ センシング
授与機関名
東北大学