半導体デバイスにおける界面制御技術 : 固体界面物性と計算機実験の基礎と応用

• 資料種別: 図書
• ISBN: 978-4-7536-5050-7
• タイトル: 半導体デバイスにおける界面制御技術 : 固体界面物性と計算機実験の基礎と応用
• タイトルよみ: ハンドウタイ デバイス ニ オケル カイメン セイギョ ギジュツ : コタイ カイメン ブッセイ ト ケイサンキ ジッケン ノ キソ ト オウヨウ
• 著者・編者: 大貫仁, 篠嶋妥, 永野隆敏, 稲見隆 共著
• 著者標目: 著者 ： 大貫, 仁, 1949- オオヌキ, ジン, 1949- ( 00996255 )典拠; 著者 ： 篠嶋, 妥 ササジマ, ヤスシ ( 00200560 )典拠; 著者 ： 永野, 隆敏 ナガノ, タカトシ ( 031420038 )典拠; 著者 ： 稲見, 隆 イナミ, タカシ ( 031420058 )典拠
• 出版事項: 東京 : 内田老鶴圃 (出版)
• 出版年月日等: 2021.4
• 出版年（W3CDTF）: 2021
• 数量: 244p
• 大きさ: 21cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 表現種別: テキスト
• 機器種別: 機器不用
• キャリア種別: 冊子
• 件名標目: 半導体 ハンドウタイ ( 00562913 )典拠; 界面化学 カイメンカガク ( 00564604 )典拠
• NDC10版: 549.8 : 電子工学
• NDLC: ND371
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: 索引あり
• 入手条件・定価: 4200円
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-M73
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 031365542; http://id.ndl.go.jp/bib/031365542
• 全国書誌番号: 23533984
• トーハンMARC番号: 34193558
• 目録規則: 日本目録規則2018年版
• 整理区分コード: 111

• 要約等: 【「はじめに」より】本書は半導体デバイスの今後の発展に重要となる界面創製技術の手引きとなる書である．このために1〜4章（基礎）と5〜8章（応用）に分け界面創製技術を解説する．1〜4 章ではまず，半導体デバイスの製造プロセスを概説して半導体デバイスが多くの界面から成り立っていることを述べる．次に固体物...

目次

【目　次】

第1章　半導体デバイスの製造プロセス

1.1　pn接合ダイオードの製造プロセス

1.2　MOS型パワーデバイスの製造プロセス

1.3　MOS型パワーデバイスの動作原理