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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Linghan Chen [著]
- 著者標目
- Chen, Linghan チン, リンハン
- 出版年月日等
- [2020]
- 出版年（W3CDTF）
- 2020
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- Cu配線を代替する先進LSI用金属間化合物配線に関する研究 Cu ハイセン オ ダイタイ スル センシン LSIヨウ キンゾク カン カゴウブツ ハイセン ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 東北大学
- 授与年月日
- 令和2年9月25日