博士論文

Intermetallic compounds as potential Cu alternatives for advanced LSI interconnects

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Intermetallic compounds as potential Cu alternatives for advanced LSI interconnects

国立国会図書館請求記号
UT51-2021-A702
国立国会図書館書誌ID
031968406
資料種別
博士論文
著者
Linghan Chen [著]
出版者
-
出版年
[2020]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東北大学,博士(工学)
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書誌情報

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資料種別
博士論文
著者・編者
Linghan Chen [著]
著者標目
Chen, Linghan チン, リンハン
出版年月日等
[2020]
出版年(W3CDTF)
2020
数量
1冊
並列タイトル等
Cu配線を代替する先進LSI用金属間化合物配線に関する研究 Cu ハイセン オ ダイタイ スル センシン LSIヨウ キンゾク カン カゴウブツ ハイセン ニ カンスル ケンキュウ
授与機関名
東北大学
授与年月日
令和2年9月25日