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1 薄膜工学の基礎/1.1 薄膜の歴史/1.2 薄膜と工学/1.3 薄膜形成技術/1.4 薄膜の応用/2 薄膜作製法/2.1 真空蒸着・MBE法/2.2 スパッタリング/2.3 化学気相成長/2.4 印刷法/3 薄膜評価法/3.1 膜厚・形状評価/3.2 結晶構造評価/3.3 組成・状態分析/3.4 力学的性質の評価/4 薄膜の機能と応用/4.1 半導体薄膜(シリコン系)/4.2 半導体薄膜(化合物)/4.3 半導体薄膜(ワイドバンドギャップ材料)/4.4 薄膜の光学的性質/4.5 誘電体薄膜/4.6 磁性薄膜/4.7 有機薄膜/4.8 ハロゲン化金属ペロブスカイト薄膜/4.9 2次元材料薄膜(グラフェン,MX2など)/4.10 薄膜の化学的性質 /
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 978-4-621-30978-0
- タイトル
- タイトルよみ
- ハクマク コウガク
- 著者・編者
- 日本学術振興会R025先進薄膜界面機能創成委員会 編集企画田畑仁, 吉田貞史, 近藤高志 編著
- 版
- 第4版
- 著者標目
- 編者 : 田畑, 仁, 表面化学 タバタ, ヒトシ, ヒョウメン カガク ( 001342600 )典拠
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2024.7
- 出版年(W3CDTF)
- 2024