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エッチングの高度化と3次元構造の作製技術

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エッチングの高度化と3次元構造の作製技術

国立国会図書館請求記号
ND354-R10
国立国会図書館書誌ID
034076866
資料種別
図書
著者
-
出版者
S&T出版
出版年
2025.3
資料形態
ページ数・大きさ等
10, 211 p ; 30 cm
NDC
549
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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
978-4-911146-09-5
タイトルよみ
エッチング ノ コウドカ ト 3ジゲン コウゾウ ノ サクセイ ギジュツ
出版年月日等
2025.3
出版年(W3CDTF)
2025
数量
10, 211 p
大きさ
30 cm
出版地(国名コード)
JP
本文の言語コード
jpn
表現種別
テキスト
機器種別
機器不用
キャリア種別
冊子
件名標目
電子部品 デンシブヒン ( 00561429 )典拠
ナノテクノロジー ナノテクノロジー ( 00907854 )典拠
表面 (工学) ヒョウメン (コウガク) ( 00563858 )典拠
NDLC
NDC(参考図書紹介)
549
対象利用者
一般
書誌注記
文献あり
入手条件・定価
60000円
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
ND354-R10
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
書誌ID(NDLBibID)
034076866
全国書誌番号
24122364
目録規則
日本目録規則2018年版
整理区分コード
111