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目次
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第1章 SiC 材料の種類・基本構造とその物性・特徴など
第1節 各種SiC の構造および特徴・物性
第1項 昇華再結晶法向けSiC 原料高純度炭化ケイ素（SiC）粉末
1. 高純度SiC 粉末 開発経緯
2. 高純度SiC 粉末の製造方法
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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 978-4-86502-293-3
- タイトルよみ
- SiC ノ セイゾウ ・ カコウ ギジュツ : ケッショウ セイチョウ ・ カコウ プロセス ギジュツ ト カクシュ カダイ エノ タイオウ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2025.12
- 出版年（W3CDTF）
- 2025
- 数量
- 503 p
- 大きさ
- 26 cm
- 出版地（国名コード）
- JP