微細計測への挑戦 : 走査電子顕微鏡「SU9000」

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10227312

資料種別: 記事

著者: 赤津昌弘ほか

出版者: 日立評論社

出版年: 2012-02-01

資料形態: デジタル

掲載誌名: 日立評論 94(2)

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書誌情報

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: 微細計測への挑戦 : 走査電子顕微鏡「SU9000」
著者・編者: 赤津昌弘
小柏剛
伊東祐博
出版事項: 日本 : 日立評論社
出版年月日等: 2012-02-01
出版年（W3CDTF）: 2012-02-01
並列タイトル等: Challenge to detailed measurement : model SU9000 scanning electron microscope
タイトル（掲載誌）: 日立評論
巻号年月日等（掲載誌）: 94(2)
掲載巻: 94(2)
本文の言語コード: jpn
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10227312
https://dl.ndl.go.jp/pid/10227312
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
受理日（W3CDTF）: 2016-12-15T23:12:21+09:00
保存日（W3CDTF）: 2012-05-29
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
遠隔複写可否（NDL）: 不可
掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/3495971/www.hitachihyoron.com/2012/02/index.html
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10227307
https://dl.ndl.go.jp/pid/10227307
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp