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博士論文

Investigation on high performance surface acoustic wave devices using ScAlN thin films

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Investigation on high performance surface acoustic wave devices using ScAlN thin films

国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/10952283
資料種別
博士論文
著者
TANG, Gongbin
出版者
-
授与年月日
2017-03-24
資料形態
デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与機関名・学位
千葉大学 = Chiba University,博士(学術)
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研究科: 千葉大学大学院工学研究科(人工システム科学)学位記番号: 千大院工博甲第学27号

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デジタル

資料種別
博士論文
著者・編者
TANG, Gongbin
著者標目
出版年月日等
2017-03-24
出版年(W3CDTF)
2017-03-24
並列タイトル等
ScAlN薄膜を用いた高性能弾性表面波素子に関する研究
授与機関名
千葉大学 = Chiba University
授与年月日
2017-03-24
授与年月日(W3CDTF)
2017-03-24