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静電駆動型MEMS光スキャナの振動特性の温度依存性と走査角制御に関する研究

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静電駆動型MEMS光スキャナの振動特性の温度依存性と走査角制御に関する研究

国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/10993547
資料種別
博士論文
著者
石河, 範明
出版者
-
出版年
2016-10-31
資料形態
デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
九州大学,博士(工学)
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  • 2020-03-12 再収集

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
著者・編者
石河, 範明
出版年月日等
2016-10-31
出版年(W3CDTF)
2016-10-31
寄与者
澤田, 廉士
澤江, 義則
池田, 哲夫
授与機関名
九州大学
授与年月日
2016-10-31
授与年月日(W3CDTF)
2016-10-31
報告番号
甲第13271号