静電駆動型MEMS光スキャナの振動特性の温度依存性と走査角制御に関する研究
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 石河, 範明
- 出版年月日等
- 2016-10-31
- 出版年(W3CDTF)
- 2016-10-31
- 寄与者
- 澤田, 廉士澤江, 義則池田, 哲夫
- 授与機関名
- 九州大学
- 授与年月日
- 2016-10-31
- 授与年月日(W3CDTF)
- 2016-10-31
- 報告番号
- 甲第13271号