モバイルセキュアLSI向け混載FeRAM用立体キャパシタプロセス

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11012509

資料種別: 記事

著者: 夏目進也ほか

出版者: パナソニック

出版年: 2009-07

資料形態: デジタル

掲載誌名: パナソニック技報 55(2)

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書誌情報

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: モバイルセキュアLSI向け混載FeRAM用立体キャパシタプロセス
著者・編者: 夏目進也
松田隆幸
那須徹
出版事項: 日本 : パナソニック
出版年月日等: 2009-07
出版年（W3CDTF）: 2009-07
並列タイトル等: Process technology of embedded FeRAM with 3-dimensional capacitor for mobile secure-LSI
タイトル（掲載誌）: パナソニック技報
巻号年月日等（掲載誌）: 55(2)
掲載巻: 55(2)
本文の言語コード: jpn
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11012509
https://dl.ndl.go.jp/pid/11012509
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
受理日（W3CDTF）: 2018-01-10T20:06:13+09:00
保存日（W3CDTF）: 2017-04-16
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
遠隔複写可否（NDL）: 不可
掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10338396/www.panasonic.com/jp/corporate/technology-design/ptj/v5502.html
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/11012505
https://dl.ndl.go.jp/pid/11012505
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp