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Deposition of boron nitride films by hot filament chemical vapor deposition and evaluation of its tribological properties

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Deposition of boron nitride films by hot filament chemical vapor deposition and evaluation of its tribological properties

国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/11048889
資料種別
博士論文
著者
金 勇
出版者
金 勇
出版年
2015
資料形態
デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
首都大学東京,博士(工学)
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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
著者・編者
金 勇
出版事項
出版年月日等
2015
出版年(W3CDTF)
2015
並列タイトル等
熱フィラメントCVD法による窒化ホウ素膜の合成とトライボロジー特性評価
授与機関名
首都大学東京
授与年月日
2015-09-30
授与年月日(W3CDTF)
2015-09-30