酸素かい離エネルギーを考慮して酸素欠損制御した薄膜トランジスタ用新規In系酸化物チャネル材料の研究
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 栗島, 一徳
- 著者標目
- 出版年月日等
- 2019-01-01
- 出版年(W3CDTF)
- 2019-01-01
- 並列タイトル等
- A Study on New InOx-based Channel Material for Thin-film Transistor Controlled Oxygen-vacancy in Consideration by Oxygen Bond Dissociation Energy
- 掲載ページ
- i-118
- 授与機関名
- 明治大学
- 授与年月日
- 2019-03-26