原子分解能分析電子顕微鏡によるSiCパワー半導体の界面構造評価

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11576034

資料種別: 記事

著者: 真家信ほか

出版者: 住化分析センター

出版年: 2017-02-27

資料形態: デジタル

掲載誌名: SCAS news 2017(1)

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書誌情報

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: 原子分解能分析電子顕微鏡によるSiCパワー半導体の界面構造評価
著者・編者: 真家信
松尾祥史
出版事項: 日本 : 住化分析センター
出版年月日等: 2017-02-27
出版年（W3CDTF）: 2017-02-27
タイトル（掲載誌）: SCAS news
巻号年月日等（掲載誌）: 2017(1)
掲載巻: 2017(1)
本文の言語コード: jpn
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11576034
https://dl.ndl.go.jp/pid/11576034
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
収集根拠: オンライン資料収集制度
受理日（W3CDTF）: 2020-11-27T21:50:32+09:00
保存日（W3CDTF）: 2020-11-27
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
遠隔複写可否（NDL）: 可
掲載誌（URI）: https://www.scas.co.jp/development/scas-news/sn-back-issues/sn-2017-1.html
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/11576031
https://dl.ndl.go.jp/pid/11576031
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
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