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精密位置決めステージにおける弾性構造物に対する相対位置決め制御に関する研究

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精密位置決めステージにおける弾性構造物に対する相対位置決め制御に関する研究

国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/11679974
資料種別
博士論文
著者
小川, 博紀
出版者
Hokkaido University
出版年
2021-03-25
資料形態
デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
北海道大学,博士(工学)
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(主査) 准教授 江丸 貴紀, 教授 梶原 逸朗, 教授 佐々木 克彦, 客員教授 小林 幸徳 (苫小牧工業高等専門学校)工学院(人間機械システムデザイン専攻)

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デジタル

資料種別
博士論文
著者・編者
小川, 博紀
著者標目
出版年月日等
2021-03-25
出版年(W3CDTF)
2021-03-25
並列タイトル等
A study on relative positioning control for elastic structure of precise positioning stage system
寄与者
江丸, 貴紀
梶原, 逸朗
佐々木, 克彦
小林, 幸徳
授与機関名
北海道大学