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Synthesis, characterization, and growth kinetics of Ni-based thin films prepared by continuous supercritical fluid chemical deposition technique
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Sudiyarmanto
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2021
- 出版年（W3CDTF）
- 2021
- 並列タイトル等
- 連続式超臨界流体化学堆積法を用いたNi基薄膜の堆積、評価、ならびに速度論的検討
- 授与機関名
- 山梨大学
- 授与年月日
- 2021-09-28
- 授与年月日（W3CDTF）
- 2021-09-28