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Fabrication of ultrathin poly-crystalline SiGe-on-insulator layer for nanostructured thermoelectric devices
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DOI[10.14945/00027494]のデータに遷移します
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2023-12-06 再収集
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Goyal, Chandra Prakash
- 出版年月日等
- 2019-12
- 出版年（W3CDTF）
- 2019-12
- 並列タイトル等
- ナノ構造を持つ熱電変換デバイスのための絶縁膜上多結晶シリコンゲルマニウム極薄層の作製
- 授与機関名
- 静岡大学
- 授与年月日
- 2020-03-19