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博士論文

Fabrication of ultrathin poly-crystalline SiGe-on-insulator layer for nanostructured thermoelectric devices

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Fabrication of ultrathin poly-crystalline SiGe-on-insulator layer for nanostructured thermoelectric devices

国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/12313253
資料種別
博士論文
著者
Goyal, Chandra Prakash
出版者
Shizuoka University
出版年
2019-12
資料形態
デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
静岡大学,博士(工学)
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デジタル

資料種別
博士論文
著者・編者
Goyal, Chandra Prakash
出版年月日等
2019-12
出版年(W3CDTF)
2019-12
並列タイトル等
ナノ構造を持つ熱電変換デバイスのための絶縁膜上多結晶シリコンゲルマニウム極薄層の作製
授与機関名
静岡大学
授与年月日
2020-03-19