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高品位微細加工に関する研究(2) : 微細深穴の高品質化に関する研究

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高品位微細加工に関する研究(2) : 微細深穴の高品質化に関する研究

国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/12322220
資料種別
記事
著者
南部洋平ほか
出版者
埼玉県
出版年
2009
資料形態
デジタル
掲載誌名
埼玉県産業技術総合センター研究報告 平成20年度(7)
掲載ページ
-
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
南部洋平
落合一裕
江原和樹
出版事項
出版年月日等
2009
出版年(W3CDTF)
2009
並列タイトル等
Study on high performance fine micro fabrication (2) : high performance fine drilling
タイトル(掲載誌)
埼玉県産業技術総合センター研究報告
巻号年月日等(掲載誌)
平成20年度(7)
掲載巻
平成20年度(7)