微小欠陥及びサブミクロン粒子計測におけるレーザセンシング技術

• 資料種別: 記事
• タイトル: 微小欠陥及びサブミクロン粒子計測におけるレーザセンシング技術
• 著者・編者: 高見勝己; 秋山伸幸; 長友宏人
• 出版事項: 日本 : 日立評論社
• 出版年月日等: 1980-11-25
• 出版年（W3CDTF）: 1980-11-25
• 並列タイトル等: Laser sensing technology for the measurement of small defects and submicron particulates
• タイトル（掲載誌）: 日立評論
• 巻号年月日等（掲載誌）: 62(11)
• 掲載巻: 62(11)
• 本文の言語コード: jpn
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/12741253; https://dl.ndl.go.jp/pid/12741253
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
• 収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
• 受理日（W3CDTF）: 2023-03-17T09:05:47+09:00
• 保存日（W3CDTF）: 2022-03-21
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/12199112/www.hitachihyoron.com/jp/archive/1980s/1980/11.html
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/12741249; https://dl.ndl.go.jp/pid/12741249
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp