サブミクロン対応縮小投影露光装置

• 資料種別: 記事
• タイトル: サブミクロン対応縮小投影露光装置
• 著者・編者: 吉崎敦浩; 仙石正行; 山西勉
• 出版事項: 日本 : 日立評論社
• 出版年月日等: 1986-09-25
• 出版年（W3CDTF）: 1986-09-25
• 並列タイトル等: Reduction steppers suited for submicron process
• タイトル（掲載誌）: 日立評論
• 巻号年月日等（掲載誌）: 68(9)
• 掲載巻: 68(9)
• 本文の言語コード: jpn
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/12742421; https://dl.ndl.go.jp/pid/12742421
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
• 収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
• 受理日（W3CDTF）: 2023-03-17T09:05:51+09:00
• 保存日（W3CDTF）: 2022-03-21
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/12199112/www.hitachihyoron.com/jp/archive/1980s/1986/09.html
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/12742417; https://dl.ndl.go.jp/pid/12742417
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp