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Piezoelectric micromachined ultrasonic transducer using monocrystalline PZT thin film for high performance ultrasonic imager
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Liu, Ziyi
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2022
- 出版年（W3CDTF）
- 2022
- 並列タイトル等
- 高性能超音波イメージャのための単結晶PZT薄膜を用いた圧電微小超音波トランスデューサ
- 授与機関名
- 東北大学
- 授与年月日
- 2022-09-26
- 授与年月日（W3CDTF）
- 2022-09-26