Improving the processing efficiency of femtosecond laser sulfur hyperdoping of silicon by diffractive beam shaping

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Improving the processing efficiency of femtosecond laser sulfur hyperdoping of silicon by diffractive beam shaping

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/13176008

資料種別: 記事

著者: Patrick Mc Kearneyほか

出版者: Japan Laser Processing Society

出版年: 2023-09

資料形態: デジタル

掲載誌名: Journal of laser micro/nanoengineering 18(2)

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: Improving the processing efficiency of femtosecond laser sulfur hyperdoping of silicon by diffractive beam shaping
著者・編者: Patrick Mc Kearney
Ingo Lebershausen
Sören Schäfer
出版事項: 日本 : Japan Laser Processing Society
出版年月日等: 2023-09
出版年（W3CDTF）: 2023-09
タイトル（掲載誌）: Journal of laser micro/nanoengineering
巻号年月日等（掲載誌）: 18(2)
掲載巻: 18(2)
ISSN（掲載誌）: 1880-0688
ISSN-L（掲載誌）: 1880-0688
本文の言語コード: eng
DOI: 10.2961/jlmn.2023.02.2003
https://doi.org/10.2961/jlmn.2023.02.2003
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/13176008
https://dl.ndl.go.jp/pid/13176008
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
収集根拠: オンライン資料収集制度
受理日（W3CDTF）: 2024-01-11T10:10:59+09:00
保存日（W3CDTF）: 2023-11-20
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
遠隔複写可否（NDL）: 可
掲載誌（URI）: https://www.jlps.gr.jp/jlmn/archive/18/18_02/
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/13176005
https://dl.ndl.go.jp/pid/13176005
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
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